二手 AIXTRON G5 #9222132 待售

AIXTRON G5是生产优质薄膜材料的最先进的沉积工具。它以革命性的蒸发/溅射和成像技术为基础，使用户能够制作出具有高度一致性和控制生长参数的薄膜。AIXTRON G5由一个高精度的反应堆室组成，由几个外部单元包围。腔室本身是由不锈钢製成，设计为保持10-4毫巴的工作压力。室内是溅射和蒸发源，由四个溅射目标和四个蒸发船组成。这些靶子可以用来沉积厚度从几纳米到几微米不等的薄膜。沉积速率和工作温度均可调节,温度可达800 °C,沉积速率超过5nm/秒。G5的控制系统基于智能软件包，使用户能够对沉积参数进行实时优化。可以自动或手动控制溅射和蒸发目标以及批处理过程,从而使用户无需干预即可启动和停止进程。该系统还包括一个无晶体衍射分析单元，能够实时分析和控制过程，以达到最佳的薄膜质量。G5反应堆配备了一系列不同的腔室和原位能力，如离轴和原位温度测量、红外成像和四点探针电气表征。这些原位功能提供了关于胶片结构的大量信息来源，同时也允许用户微调工艺条件以获得更好的胶片质量。AIXTRON G5专为高品质薄膜的晶圆厂而设计。它被用于生产广泛应用的材料，包括光电器件、半导体、光伏和燃料电池。该系统也适用于新材料和新工艺的研发。AIXTRON G5是一种先进的沉积工具,具有先进制造工艺所需的灵活性。它结合了自动化的控制系统、先进的原位能力和高精度的操作，使其成为生产高质量胶片的理想工具。