二手 AIXTRON / GENUS Lynx iXP #293619357 待售

ID: 293619357
Systems.
AIXTRON/GENUS Lynx iXP是一种尖端、工业级的CVD外延反应器,专门为大规模、高产生产高亮度发光二极管(HBLED)而开发。该反应堆是专门为满足最新HBLED生产需求而设计的。GENUS Lynx iXP反应器采用7区石英直线热墙(QLH)设计,可优化生长速度和外延质量,同时提供优越的表面平面性。这是通过线性加热/冷却表面实现的,该表面在整个生长循环装置中提供一致的温度梯度。此外,QLH设计还提供了出色的温度稳定性,在所有工艺区域内均匀加热温度±为10°C。反应堆还配备了先进的温度控制系统,包括高分辨率PID控制器和6个RTD热电偶探头。这样可以确保以非常高的精度准确地维持增长过程。该反应堆还附带了广泛的工艺气体(包括三甲基铵和三甲基散射),以提供全方位的材料沉积能力。AIXTRON Lynx iXP为最大可靠性和性能而设计;它有一个先进的微处理器控制与错误恢复设备,真空脉动保护系统,和一个动态倾斜预对准单元。反应堆还配备了先进的诊断,使用户能够对可能出现的任何问题进行故障排除和诊断。而且,Lynx iXP反应堆配备了一系列安全特性,包括过温和过压防护,以及真空锁定机,确保人员安全不受影响。此外,反应堆还设计了高灵敏度空气过滤工具,以确保工艺空间保持清洁和无尘。AIXTRON/GENUS Lynx iXP外延反应堆的高性能和先进设计,使其成为生产下一代HBLED的理想选择。该反应堆是一个强大而可靠的工具,非常适合在高产、大规模生产运行中生产高质量和高度可靠的HBLED。
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