二手 AIXTRON LYNX-III #9067043 待售

AIXTRON LYNX-III
製造商
AIXTRON
模型
LYNX-III
ID: 9067043
晶圆大小: 12"
优质的: 2007
CVD system, 12", 2007 vintage.
AIXTRON LYNX-III反应堆是用于在生产环境中调制光的工具。具体来说,LYNX-III专为高温化学气相沉积(CVD)应用而设计。是生产大面积、均匀薄膜的先进高效解决方桉。AIXTRON LYNX-III是一种中批量、平行反应室,具有优异的温度均匀性和输出质量。它采用了先进的线性射频发生器,具有优异的材料特性,而其低热质量设计允许散热和控制。LYNX-III反应堆有一个多元件光学设备,其中光源和焦点平面都可以调节,以确保所需的处理均匀性。光学元件受滤光系统保护,滤光系统吸收特定波长的入射光,以优化生产薄膜的效率和质量。另外一个滤波器通常也用于吸收进入的太阳辐射。AIXTRON LYNX-III反应堆的最大额定功率为8kW,可以接受液体、超临界气体和等离子体形式的原料。LYNX-III反应堆具有可定制的介电和热特性,可以在单束和双束配置中运行。由于精确的光学单元和反应物分布网络的结合使底物温度中的任何梯度最小化,它在整个底物上提供了显着的均匀性。AIXTRON LYNX-III还配备了多种安全功能,包括紧急钥匙开关、电源切断、温度监控和诊断指示灯,可提醒操作员注意任何潜在故障。总之,LYNX-III是CVD生产的优越解决方桉,因为它利用先进的光学机器和线性射频发生器来获得最大的效率和均匀性。它非常适合多种材料,提供卓越的介电和热性能,同时还提供多种安全功能,确保准确、安全的制造环境。
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