二手 AIXTRON LYNX-iXP #293804468 待售
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AIXTRON LYNX-iXP是一种基于业界领先的AIXTRON闭合耦合淋浴头（CCS）技术的最先进的沉积工具。它具有独特的架构，由反应室内的板和附着在室外的等离子体源组成。该设计最大限度地减少了反应堆壁上的气体传输时间和表面反应，有助于最大限度地提高吞吐量。这项技术使等离子体更加均匀稳定，增加了材料沉积速率。LYNX-iXP使用多种气体化学和器件配置与周围的CCS板相互作用。它具有超高真空操作能力，底压小于1.0E-7 Torr。这使反应堆能够以极高的精度和精确度处理各种材料。沉积过程使用先进的计算机系统和工具界面提供的各种独特应用程序进行控制。例如，"SOLATE"应用为半导体器件开发外延层提供了非常低的能量沉积。AIXTRON LYNX-iXP非常适合用于研究应用,可用于开发各种应用的高质量薄膜。它是专门为加工低k电介质和其他CCS技术非常适合的材料而设计的。这包括氧化物、氮化物和氟化物等材料。LYNX-iXP还提供优越的基板温度，最高温度超过500 °C。这样就能够沉积高质量的材料，如金刚石状碳，在AIXTRON LYNX-iXP上已被证明是成功的。加热和冷却系统集成到腔室设计中，以确保可以达到统一和可重复的要求。LYNX-iXP能够提供高质量的沉积结果，具有广泛的材料和应用。高度优化的气体动力学和广泛的控制参数为沉积过程提供了一个通用、可靠的解决方桉。利用AIXTRON CCS技术，AIXTRON LYNX-iXP在薄膜沉积中可达到前所未有的精度和均匀性。
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