二手 AIXTRON LYNX2 #9130267 待售

AIXTRON LYNX2
製造商
AIXTRON
模型
LYNX2
ID: 9130267
System.
AIXTRON LYNX2是一种最先进的半导体制造反应器,设计用于沉积高质量的薄膜材料,用于各种技术应用。它是将等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术与高效、低成本的真空沉积相结合的多合一反应器。LYNX2能够沉积在大面积基板上,如面板、晶片,甚至是柔性材料。AIXTRON LYNX2的高性能沉积工艺是通过其自动化的工艺控制、精密的高级加热能力、在所有温度下一致的工艺控制以及保持膜的均匀性来实现的。此过程由可选的负载锁定功能启用,允许以最小的操作进行短或长沉积运行。自动控制软件允许用户根据过程要求或材料类型的变化修改沉积过程参数,而不需要或不需要进一步的人工干预。LYNX2的设计包括反应堆室内优化的静电和磁场,最大限度地减少剥落和破坏,确保均匀性和高质量的沉积速率。AIXTRON LYNX2具有较高的吞吐量,这意味着较大区域的沉积时间可能较短。这样可以提高工作效率、可靠性和可重复性,从而提高对工作效率的客户的满意度。LYNX2的集成过程监控和反馈系统为沉积过程的质量和一致性提供了宝贵的见解。工艺控制特性便于调整工艺参数,以确保所有材料的沉积厚度和质量都令人满意。AIXTRON控制技术可防止任何沉积过多或不足的物料层。AIXTRON自动故障诊断和报告系统允许轻松更换单个模块,从而增加了故障之间的平均时间(MTBF),进一步提高了AIXTRON LYNX2的可靠性和性能。维护警报系统表示有任何流程故障或硬件故障,灵活的软件体系结构允许立即高效地进行自动记录和流程调整。LYNX2是一个最先进的反应堆,为各种行业提供一系列高质量、高成本效益的沉积技术。其自动化控制系统可确保高吞吐量、最低维护要求和可重复的薄膜沉积结果。其先进的静电和磁场保证了高均匀性和薄膜质量。它的过程监测和反馈系统为沉积过程提供了宝贵的见解,并使之能够在必要时迅速作出改变。其高性能、自动化过程和低成本确保AIXTRON LYNX2是半导体制造的理想选择。
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