二手 AIXTRON Tricent #9396754 待售
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ID: 9396754
优质的: 2006
CVD System
BROOKS AUTOMATİON Gx6000 Handler
BROOKS AUTOMATİON Magnatran
2006 vintage.
AIXTRON Tricent是一种专门为氮化物基材料的沉积而设计的三电极化学气相沉积（CVD）反应器。Tricent被设计为通过挥发性金属氮化物化合物如氮化铝、氮化铵、氮化氙等的分解来沉积氮化物层。它利用平面型RF/DC驱动的过程，其中两个电极被用于创建等离子体，以及一个辅助电极来控制直流偏置。这种配置由于等离子体产量较高而提高了工艺性能，因为直流偏置可以实现更快的热化，从而导致更高的沉积速率。AIXTRON Tricent可以在不同的氮化物工艺气体下运行，包括NH3、GeH4和硅烷。考虑到反应堆的小型设计，该反应堆能够实现较高的沉积速率。它具有非常快的沉积速率切换能力，非常适合涉及快速切换工艺气体和/或基板温度的应用，如厚层沉积。Tricent还提供即时基板温度和气体控制,从而可以在运行过程中监控和优化过程。AIXTRON Tricent利用自动化的流程优化功能,允许用户快速调整流程参数。这使得用户更容易学习如何操作反应堆，并在处理新材料系统或过程时尽量减少停机时间。此外,用户还可以受益于高级智能流程控制系统,该系统使用反馈环路和诊断程序来监控流程并保持一致的沉积速率。最后，Tricent有一个不锈钢外壳，可以很容易的维护和清洁。反应堆内部钻研所有未被底物占据的表面积，抑制沉积在未有意暴露于反应物的表面上。结果是提高了表面质量，提高了沉积速率，提高了可靠性和可重复性。
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