二手 AIXTRON TS 19x2" FT #9135813 待售

AIXTRON TS 19x2 "FT是一种用于复杂的高产薄膜制造工艺的最先进的基于氟代膦的多反应器室设备。该系统采用AIXTRON先进的调制电子回旋共振（ECR）源技术，可以在高温下进行有效的层沉积。这类反应堆采用ECR微波产生的等离子体和热处理相结合的方式进行有效的层生长。反应堆包含一个20英寸宽的真空室，并提供高达2900 °C的处理能力。该反应堆配有原位气体净化和分析组件，以确保一个稳定和可重复的过程。TS 19x2 "FT使用真空泵送单元，能够维持1 x 10-7 Torr至1 x 10-10 Torr的过程压力。它能够在广泛的气体种类下发挥作用，或者作为预清除过程的一部分，或者作为连续流动的一部分。AIXTRON TS 19x2 "FT提供高效的基板加热和广泛的均匀层沉积能力。基板可以加热到600 °C，以确保高效生长。反应堆还提供了高达100的强大的源改进系数，这意味着它能够在基板上提供极为均匀的层沉积。此外，该机还可以在循环气体模式下运行，从而提高了工艺控制和成本效益。TS 19x2 "FT适用于广泛的薄膜制造工艺，包括用于生产光电、半导体和光伏器件的工艺。其高度可靠和可重复的功能使其成为高需求制造应用的理想选择。功耗和运营成本也由于其先进的ECR源技术而最小化。该工具还可以与AIXTRON高级流程监控软件集成，允许全过程监控。AIXTRON TS 19x2 "FT是研究和工业应用的理想选择。