二手 AIXTRON TS 19x2" #9386920 待售

AIXTRON TS 19x2是一种化学气相沉积（CVD）反应器，设计用于半导体生产。它具有顶载石英管、遥控手动升降机和可移动加热区，允许用户调整和优化反应堆参数以获得最佳性能。AIXTRON TS 19x2包括三条加热气体入口管线和一条制冷剂出口管线。AIXTRON TS 19x2先进的控制设备可以提供精确的气相控制，允许用户精确控制薄膜沉积参数，修改反应堆内部的温度剖面。此外，AIXTRON TS 19x2具有内置的机械化学模块，使用户能够将沉积配方与温度、压力和氧气水平等反应条件相结合。反应堆包括三个工艺气体安全阀，可由0-100%调节，以确保安全可靠运行。AIXTRON TS 19x2反应堆设计具有广泛的安全特性，确保成功可靠运行。反应堆包括气体泄漏监测仪，可检测反应堆内任何气体或蒸气低于正常运行浓度，必要时关闭系统。此外，反应堆还配备了一个自动压力衰减监测仪，可以检测任何明显的压力变化，并关闭工艺气体入口，以减少危险泄漏的潜在风险。此外，压力控制器确保反应器内工作压力稳定，安全温度控制器限制温度波动。AIXTRON TS 19x2反应堆具有独特的现代设计，使用户可以轻松进入工艺室，并能够快速设置单元。它还配备了先进的易于使用的图形用户界面，为用户提供详细的实时反馈和清晰的屏幕指令。此外,AIXTRON TS 19x2还具有远程访问设置和诊断机器,允许用户从世界任何地方监视和调整沉积参数。总体而言，AIXTRON TS 19x2是一个可靠、安全的反应堆，设计符合半导体生产的最高质量标准。它具有多种安全特性，对工艺参数提供有效控制，同时还允许用户远程访问和监控反应堆。由于其用户友好的设计，AIXTRON TS 19x2反应堆可以在半导体生产中提供可靠高效的运行。