二手 AIXTRON TS CCSH31x2" #9386931 待售

AIXTRON TS CCSH31x2反应器是为功能性金属氧化物（FMO）和基于介电氧化物的材料沉积而设计的多室等离子体沉积系统。利用先进的远程等离子体源，实现了高质量、精密膜厚度的增长。此外,系统能够同时使用批处理和内联处理。AIXTRON TS CCSH31x2具有集成的单区电子回旋共振（ECR）等离子体源。这种ECR等离子体源可用于优化沉积，允许低能沉积，精确控制基质区域上粒子的能量和通量。ECR源还由微波发生器和外部磁场线圈组成，确保等离子体均匀均匀。AIXTRON TS CCSH31x2反应堆利用螺旋线圈加速和维持等离子体。反应堆还允许通过基板旋转和基座运动快速、精确、可重复的层沉积。此外，AIXTRON TS CCSH31x2的炮塔设计允许最多四个基板装载行和两个沉积室。这允许对各种基材进行大的表面处理和频繁的基材更换。AIXTRON TS CCSH31x2反应堆具有先进的过程控制和监控能力。它配备了反馈系统，以确保最佳的工艺再现性和精确度。它被配置为提供关于基板温度、沉积速率和气体压力的反馈。这有助于提供工业过程所需的层状沉积的精确度和精确度。此外，AIXTRON TS CCSH31x2反应堆有一个内置的安全联锁装置，在蚀刻过程中注入惰性气体时自动关闭腔室。AIXTRON TS CCSH31x2反应堆被设计成能在氧气、氮气、氙气等多种典型用途的工艺气体中工作。而且适合于表面的官能化和复杂金属氧化物的沉积，如氧化锡氙（ITO）或氧化锌（ZnO）。总体而言，AIXTRON TS CCSH31x2是一种多室等离子体沉积系统，设计用于功能性金属氧化物和基于介电氧化物的材料沉积。它允许具有过程控制和监测能力的精确和均匀的等离子体沉积。它非常适合表面的功能化和复杂金属氧化物的沉积。