二手 AIXTRON TS OCSH 31X2 #9181636 待售

AIXTRON TS OCSH 31X2是一种高精度的化学气相沉积反应器，用于制造化合物半导体，如砷化氙（GaAs）。该机由多个部件组成，包括一个工艺室、淋浴敏感器、一个合约、一个压力控制器、一个气体控制设备和一个低压射频源。加工室是一个密封的金属外壳，包含反应物和底物。该室设计用于保持真空，并确保反应物均匀分布。在室内，反应物被加热到高达1000 °C的温度，而敏感剂提供必要的热量。腔室内的crucible容纳反应物，并被淋浴加热的敏感剂加热。气体控制系统通过喷嘴向腔室注入精确数量的反应物气体，以提供所需的化学反应。低压射频源用于激发反应物，在基板上生成均匀的涂层。压力控制器用于调节腔内压力，以确保反应物均匀分布，防止过早反应。腔室保持温度和受控压力允许精确和可重复的过程与最小的过程变化。因此,TS OCSH 31X2能够生产高质量、可重复和经济高效的设备。此外,AIXTRON TS OCSH 31X2还配备了多种安全功能。它包括一个自动快门单元，防止紫外线在反应性过程中进入机器，此外还有一个紧急停止工具，在出事时停止整个过程。它还具有各种传感器，用于监测腔内的温度、压力和反应物气体，提供额外的一层安全和精度。TS OCSH 31X2是生产复合半导体的先进工具。凭借其强大的热源和压源组合、精确的气体控制以及自动化的安全特性，它可以提供统一且可重复的结果，并具有最小的工艺变化。它是生产LED、激光和太阳能电池等GaAs设备的宝贵工具。