二手 AIXTRON TS #9363430 待售

AIXTRON TS是用于薄膜沉积的最先进的商用CVD反应器设备。由AIXTRON GmbH开发，用于沉积半导体级薄膜。TS是一个模块化系统，可以根据客户的需求进行定制。主要用于电介质、半导体或金属材料在基板上的沉积。AIXTRON TS反应堆提供了多种优点：它提供了出色的膜厚度均匀性；易于使用，容易针对不同的腔室配置进行定制；它带有一个可选的低温工艺室。TS也可以进行升级和改装，加上自动化元件等新的增补。AIXTRON TS的核心是其专有的Showerhead设计。这种设计确保了均匀、高沉积速率和可重现的过程。Showerhead可以设置为不同的源压力,并且可以根据客户需求选择、修改和重新校准源材料。这款Showerhead允许气体流动良好的均匀性，还提供有关温度、背景压力和腔室温度的均匀性，并允许一致、稳定的过程。TS配备了工艺计算机，可用于微调包括基板温度、腔室压力和源气体输入在内的工艺参数。该流程计算机包括专用流程软件，帮助用户自定义和调整流程参数。该工艺软件还包括一个自动校准功能，允许自动校正工艺漂移和源。AIXTRON TS还具有出色的安全特性：安装了具有超压保护的紧急气体关闭装置，以防止薄膜意外损坏。在紧急情况下,另一台警报机发出声音警告.综上所述，TS是一种模块化、可靠且可定制的薄膜沉积CVD反应器工具。它的特点和高端流程组件使其成为各种CVD流程的绝佳工具。