二手 AIXTRON VP508GFR #9115997 待售

AIXTRON VP508GFR是来自AIXTRON的GaN-on-Film反应堆。它能够在各种基板上创建无缺陷、高效的半极性和非极性GaN层。反应堆利用高频电子回旋共振（ECR）等离子体在4英寸、6英寸或8英寸的InP、Si或GaAs基板上生长高质量的GaN外延层。该反应堆还有一个加热级，能够达到高达1000 °C的温度，可用于生长多层结构以及进行重结晶选择。VP508GFR易于使用,这要归功于用户友好、软件控制的设备组件,便于设置各种工艺参数。此外，直观的图形用户界面自动生成所有标准工艺参数的配方。AIXTRON VP508GFR采用全法兰加工室,使加工能力最大化.许多创新的特点使反应堆成为市场上同类反应堆中用途最广泛、功能最强大的反应堆之一。其中包括两个集成的积液电池，这两个电池能够在外延的不同步骤中使用不同的稀有气体，一个加速沉积速率的高频电场，以及一个自动气体流动系统，确保对工艺气体的精确控制和均匀性。VP508GFR配有若干气体输送和安全子系统，以确保准确和一致的运行。气体输送由闭环质量流控制器管理，而安全包括冷却和压力监测系统，在出现问题时可以关闭设备。该反应器能够制造无缺陷的多层GaN薄膜，具有出色的结晶度和光学性能，以及低杂质水平。可用于创建高效、非极性和半极性LED。AIXTRON VP508GFR具有很高的灵活性和效率，是研究和产品开发的理想机器。