二手 AIXTRON VP508GFR #9401520 待售

AIXTRON VP 508GFR是一种基于磁控管溅射的垂直闭合冷壁外延反应器。它旨在高效生产III-V光电材料，能够产生2D和3D设备结构。VP 508GFR反应堆装有中型涡轮分子泵和200毫米主室。主室的最大工作压力为1至10E-1mbar，而基板温度可在25°C至500°C之间调节。反应堆的地板装有感应射频发生器，允许使用平面感应源加热基板。这种结构允许外延层的均匀加热和沉积。AIXTRON VP 508GFR利用一系列金属作为其溅射源，并选择电感耦合等离子体和辉光放电光谱光源来改进沉积参数。它还提供了一个气体注入系统，用于精确控制生长参数，如掺杂水平和密度。VP 508GFR设计有一个集成的软件系统，便于进入反应堆条件。它还提供了具有不同多任务处理功能的工作环境,例如自动配方和设置、许多用户定义的参数以及对实验的远程控制访问。AIXTRON VP 508GFR的应用包括光电材料、外延材料和层结构，如垂直腔表面发射激光器（VCSELs）、PIN型光电二极管、量子级联激光器（QCL）结构和VECSELs。对于那些在光电应用中需要精确一致沉积参数的人来说，这是一个理想的选择。