二手 AIXTRON XL #9363431 待售

AIXTRON XL是由AIXTRON设计制造的高温金属有机化学气相沉积（MOCVD）反应器。它被用于研发以及大批量生产，用于光学窗、LED元件和太阳能电池等薄膜技术应用。XL具有定制的线性源优化设备（LSOS），它由专利的三区电子束感应热处理（EB-TP）技术、气体输送系统和过程控制单元组成。LSOS对目标区域的整个宽度提供精确的温度控制,其获得专利的三区EB-TP技术可在整个生长基板的基板区域提供高均匀性的温度。该机还包括一个高精度的旋转沉积室，它允许在一个循环中最多执行五种不同的沉积。这使得HI-VI P掺杂、低温掺杂和低温沉积都能在AIXTRON XL内部进行。其湿法加工特性使蚀刻、清洁和干燥步骤能够在一个单一的工艺步骤中实现自动化，其精密的面膜对准技术确保了基板上的最大均匀性。XL由强大的设计组成,可提供更高的安全性、质量和可靠性,以便在工业环境中使用。它包括一个内置保护率监测和数据库，用于监测和记录所有关键流程数据，以确保质量。其他功能包括一个可视化工具，该工具具有序列和过程参数设置，可以从图形用户界面轻松检查。AIXTRON XL是大批量生产薄膜材料的理想选择，因此认为在工业环境中是一种有吸引力的、具有成本效益的解决方桉。它能够提供准确、可重现和可重复的结果,还可以实现从一个制造过程到另一个制造过程的快速转换。该资产还具有许多高级流程控制功能和设备监控功能。所有这些特性使其成为一个非常通用的反应堆，用于各种应用。