二手 AMAT / APPLIED MATERIAL P5000 #293610477 待售

Applicated Materials AMAT/APPLIED MATERIAL P5000 Photoresister Reactor是一种用于制造半导体晶片的工具。它被设计用来蚀刻半导体基板，并用光刻胶层覆盖它们。AMAT P5000是一种化学气相沉积（CVD）工艺工具，用于生产集成电路和其他微电子器件。APPLIED MATERIAL P5000由一个外室、加工室、气体输送系统、一个控制单元和一个真空源组成，它们都被封闭在室内。外室设计为密封，允许温度、气体、压力控制。工艺室由不锈钢室和石英制成的主体构成。石英有助于确保必要的热量在整个过程中均匀耐热。气体输送系统由载气和反应性气体两个主要组成部分组成。载气用于溶解反应物气体，以便将其沉积到室内。反应物气体随后被沉积到腔内，在基板上形成光致抗蚀层。控制单元负责控制压力、气流、温度和时间设置。真空源是疏散加工室所必需的。它用于制造真空，以便为沉积过程建立必要的条件。它可以调整到一个特定的真空，通常范围从10-1毫巴。为了启动沉积过程，基板被转移到工艺室，然后产生真空。然后将反应物气体溶解到载气中，注入工艺室。然后调整温度、气流、压力和时间设置并启动过程。随着沉积过程的进行，在基板上形成了一层光致抗蚀层，形成了所需的特征。应用材料P5000满足了半导体工业的需要和要求。它是光刻沉积工艺中的一项技术进步，提供了更高的精度和精确度。AMAT/APPLICED MATERIAL P5000用途广泛,易于使用,可用于多种情况并执行各种任务。