二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-00745 #293654975 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-00745是一种半导体反应堆，设计用于快速、高通量生产微电子器件。它能够通过激光束加热加速扩散过程和退火。反应堆由几个主要部件组成：转盘上的大型水冷喷嘴组件、石英反应堆室、固定基板支架、射频发生器、定位和驱动机构以及控制外壳。喷嘴组件是AMAT 0010-00745反应堆最重要的部件，包含一个由固定喷嘴套包围的水冷芯。岩心有一个入水式，两个或四个浮环，一个排气口和一个进气口。用于将激光束引导至反应堆腔内的基板。石英反应堆室是一个加热的真空密封室，容纳基板支架，并保持激光束目标。基板支架由带有加热元件的铜板制成。盘子将晶片固定在腔内进行加工时。射频发生器用于在反应堆内创建高频场，以调节基板的加热。定位驱动机构负责将基板和喷嘴精确定位在腔内。控制外壳容纳反应堆的控制模块，该模块监视不同组件的运行并相应调整过程参数。应用材料0010-00745反应堆是为高效扩散过程和退火而设计的。它的水冷喷嘴允许在基板上均匀的激光束功率分配，因此产生了高质量的电子设备，减少了加工时间。此外，射频发生器增加了反应堆室内温度的均匀性，允许对过程进行精确控制，并消除了长退火时间的需要。此外，定位和驱动机构能够准确定位和移动基板的腔室，使其适用于广泛的基板。最后,控制模块通过监视不同的组件来确保一致和优化的过程。总体而言，0010-00745反应堆是一种先进高效的半导体工具，可用于微电子器件的生产。通过利用其先进的特点，如精确的基板定位、增加的温度均匀性、均匀的激光束分布和高通量，制造商可以生产高质量的设备。