二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-01286 #9043519 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-01286反应堆是一种先进可靠的串联CVD（化学气相沉积）工艺装置。它专为大批量生产光电器件如半导体、光学器件、平板显示器等相关产品而设计。该反应器采用石英衬里反应室，通过射频感应加热。该腔室还包含一个气体入口、一个废水出口、一个基板支架和一个晶片装载机/卸载机。反应堆能够将各种材料如铝、钛、铜、硅等的薄膜沉积到基板上。它还可以沉积氧化物、氮化物和氢钝化膜，以及诸如硼、磷、砷、移植物等掺杂剂。反应堆能够在高达1100 °C的温度下运行，这取决于所沉积的材料，同时保持高度的均匀性。AMAT 0010-01286具有远程晶片装卸到基板支架以及车载监控的功能。这确保了沉积过程的准确性和可重复性。该反应器采用高精度气压阀，允许有多种气体的脉冲流控制的攻击性过程流。这提供了高度的沉积物均匀性，在高温下部分电荷维持在目标基板上。APPLIED MATERIALS 0010-01286利用十六种工艺气体和高效流量控制，能够实现柔韧性和软生产周期曲线过渡，允许快速的生产率变化。它的自动触摸屏用户界面设置方便快速设置和维护，以及易于操作和监测反应堆的操作。在0010-01286维持较高的安全标准,提供冗余的安全警报以及紧急关闭,以防止出现任何危险情况。其高性能和可靠性,加上用户友好的界面,使其成为需要流程可重复性、一致性和整体效率的应用程序的理想选择。