二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293596912 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254反应堆是一种通用蚀刻反应堆，设计用于等离子体增强化学气相沉积（PECVD）。它设计用于中型至大型生产，腔室尺寸为30 "x 30"（76.2厘米x 76.2厘米）。该反应器采用冷壁圆柱形室，由不锈钢和石墨衬里组成。石墨衬里有助于通过提供热散射来最大程度地减少腔室的热应力，同时允许修复腔室内耗尽的表面。该室还包括热解氮化硼（PBN）平台和阳极罩。反应堆配有单频13.56 MHz VHF射频电源，功率范围为250-500瓦。该设备设计用于清洁室环境,并配有真空额定视图端口窗口和用于远程通信的I/O连接器。反应堆还具有可编程性，允许预设配方，并选择最多50步的程序以增加控制和灵活性。配方预设提供了一系列工艺参数，如气流、气体溷合物、压力、射频功率、曝光时间、偏差和温度。该系统配备了超压模式和压力维护，通过允许使用者快速撤离腔室，有助于减少颗粒污染。该装置还配有用于PBN平台的温度控制机，对沉积速率和配置提供额外的控制。该反应器具有良好的均匀性,能够实现0.5%的工艺步骤可重复性.它还具有高达0.2%的温度均匀性,并且能够通过超时和微反馈提供0.2%/0.5%的石英稳定性。总体而言，AMAT 0010-03254反应堆为先进的PECVD应用提供了可靠高效的解决方桉。