二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293632752 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 0010-03254是一种用于半导体制造的反应器，用于在晶圆表面沉积薄膜。该反应堆的设计效率极高，但可靠且具有成本效益，可提供一致的高质量薄膜输出。该反应堆采用受控物理气相沉积（PVD）。PVD是一种薄膜沉积过程，发生在称为沉积室的环境中。在该腔室内，引入汽化材料，然后沉积在预定义的基板上。这种基材通常是半导体晶圆。在半导体PVD的情况下，引入腔室的气体中含有前体分子，这些分子随后被分解成反应性更强的原子和分子，然后以定向和保形的方式沉积在晶圆表面上。AMAT 0010-03254反应堆采用先进的传统PVD室设计，经过优化，具有较高的吞吐量和效率。因此，反应器能够处理大量的底物，最小的循环时间和薄膜沉积的吞吐量。在其基本设计中，反应堆由多个部件组成。这些部件包括惰性气体供应管道、目标支架、溅射源组件、RF或直流电源、阳极组件和真空系统，以及腔室本身。APPLIED MATERIALS 0010-03254反应堆装有其他几个特性。例如，它可以被编程为通过各种气体引入速度自动过渡，同时具有光背景和粒子监控器。这允许用户手动或自动观察和监视进程的进度。它的作用是将前体和惰性背景气体泵入腔室，在腔室中它们反应并迅速沉积到晶圆表面上。工艺温度和压力可以精确控制，允许优质薄膜与多种材料沉积。根据所使用的材料和应用，可以采用各种不同的腔室几何形状，如开放式、钟形或其他类型。0010-03254是一种高度可靠、经济实惠的半导体制造方式。它可以生产厚度均匀的薄膜，具有出色的阶梯覆盖率。由此，成为半导体制造流程中的重要资产。