二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293646134 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254
ID: 293646134
晶圆大小: 8"
优质的: 2023
E-Chuck assembly for MCA, 8" 2023 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254反应堆是一种为半导体级加工而设计的高效工艺室。它采用可变反应物供应(VRS)两区/三区技术,在各种加工配方中提供反应物的最终吞吐量和控制。反应堆使用气体、等离子体和热源的组合来驱动反应。可变反应物供应(VRS)两区/三区设计为用户提供了调整所需工艺配方的灵活性。反应堆具有一个高通量的工艺室,能够在一个室内同时进行多种工艺配方。该腔室能够在低压液滴的情况下进行高通量的处理,适合各种应用。其高容量和广泛的工艺温度也有助于提高其效率和效力。此外,反应堆能够进行高能过程,并以先进的电荷补偿来破坏物质。反应堆配有直观的控制器和触摸屏界面,可方便操作和监控过程。该控制器包括用于控制和监控工艺参数的智能、功能强大的软件。它还包括易于编程的流程配方和先进的高效循环控制。用户可以调整温度、气体化学、压力、循环时间,优化工艺配方。AMAT 0010-03254反应堆是为提供最大吞吐量和质量而设计的先进工艺室。其可变反应物供应(VRS)两区/三区设计为用户提供了调整工艺配方以达到预期效果的灵活性。反应堆具有直观的控制器和触摸屏界面,便于使用和监控过程。高容量和广泛的工艺温度使其成为各种应用的理想选择。
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