二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293665750 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254是AMAT, Inc.制造的反应堆设备，用于广泛的工业过程。它专门设计用于前端半导体器件制造时提高生产、精度和工艺控制。反应堆系统利用加热和冷却的反应性等离子体的组合，产生一种化学反应，可以用来将材料精确地沉积在表面上。AMAT 0010-03254由不锈钢反应室、高频磁力发生器、单级高压耦合变压器、高压等离子体源和发电机驱动的射频电源组成。加热和冷却的反应性等离子体由磁控管产生，由高频发电机供电。然后高压耦合变压器能够精确调节等离子体向反应室的电压和电流传递。APPLIED MATERIALS 0010-03254由一个可编程控制器控制,该控制器允许用户调整热量和反应参数以根据特定需要自定义过程。反应室能够产生反应性氮、氧、氢和氯，在沉积前氧化和钝化表面。反应室还可以通过高精度控制进料气体如氙气、氙气、氙气、氦气来实现高纯度沉积。0010-03254专为精密和控制而设计,具有编程视图、压力、热量和气体控制功能,可用于专门的化学机械抛光。它有一个锁载室，可用于样品和盒式磁带的进出，并具有干式和湿式化学的集成气体输送。反应堆单元由一个可修复的端站和一个石英或石墨晶片船支撑支撑，最多可保持八个晶片。它还具有额外的温度输入，用于控制其他晶圆船预热技术。综上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254是一种多功能反应堆机器，旨在提高半导体生产制造过程的控制和精度。它具有不锈钢反应室、高频磁力发生器、高压耦合变压器、高压等离子体源和发电机驱动的射频电源。可编程控制器允许用户根据特定需求定制流程，它提供了一个负载锁定室、一个可修复的端站和集成气体输送。此外，它还有一个额外的温度输入，用于控制其他晶圆船预热技术。