二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293769609 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254是一种生产级、高效的PVD反应器，设计用于溅射各种材料的薄膜。AMAT 0010-03254是一种独立的300 mm晶片卡带到卡带的工具，提供高性能的溅射沉积和使用独立的工艺室同时沉积多个金属和金属氧化物材料层的能力。PM室配备了独特的"旋转磁控管源"，使其与包括传统平面目标和圆柱形目标在内的多种目标材料配合使用，创造出均匀的层厚度。此外,它还配备了增强的旋转目标管理设备（ETM）,以改善现场控制和均匀性,并改进负载锁定设计以减少颗粒污染。反应堆的控制是通过使用专用的前端自动化和控制系统实现的。该单元便于快速设置和配方优化，提供统计控制的质量保证，并利用热晶片加载。这有助于最大限度地减少对易碎反应物气体的损害，同时降低维护成本和减少能源消耗。此外，该机支持单室和多室操作，允许灵活的过程强化。在其机械设计上，APPLIED MATERIALS 0010-03254设有先进的降泵架构，以容许快速的设备更换和工具维护。此外，该工具还能够使用先进的隔膜和背衬泵在沉积室中产生较高的真空水平。此外，该反应堆还配备了高精度驱动系统，优化了气体分配，改进了气体清除，提高了性能，提高了薄膜沉积效率。0010-03254反应堆的核心是经AMAT验证的MDP4（四室最大数据处理）控制器平台。该平台支持优雅的配方管理,并具有统计过程控制和更高级别的产量优化。此外，MDP4控制器还能够进行趋势分析和自定义分析，使操作员能够对过程中材料的机理和行为产生有力的见解。总而言之，AMAT/APPLICED MATERIALS 0010-03254是一种功能强大的生产级PVD反应堆，性能优异，工艺灵活性强。它结合了先进的机械设计、自动化和控制工具，成为薄膜快速沉积和多层特定金属和金属氧化物材料同时沉积的理想工具。因此，AMAT 0010-03254反应堆是各种溅射应用的理想选择。