二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9004838 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254是专为PECVD和半导体和MEMS制造中的氧化应用而设计的全晶片处理反应器。该反应器非常适合沉积低介电层和保护膜，以及形成抗反射涂层。AMAT 0010-03254有一个加热、可旋转的样品室，直径200毫米，最多可容纳15个晶圆。先进的单罩设计确保了反应物气体的均匀分布和均匀的侧壁沉积。基板偏置电压可调0至700V，偏置频率可调。反应堆配有主动机械快门设备，用于控制反应物浓度、温度和压力，以获得最佳工艺结果。该系统还配备了先进的工艺控制单元，以优化沉积重复性和重复性。此外，APPLIED MATERIALS 0010-03254还有一台先进的疏散机，可以用氮气或氙气快速高效地清除腔室。反应堆的设计容易融入现有或新的制造系统。模块化设计使安装和升级变得简单明了。该设计使操作员能够快速设置和更改流程配方,并执行现场诊断。一般情况下，0010-03254是一种先进的、高精度的PECVD/氧化反应器，旨在提供高质量的沉积结果。其设计允许快速高效地形成低介电层、保护膜和防反射涂层。它的模块化设计使其能够轻松集成到现有的制造系统中，其先进的工艺控制工具确保了沉积的可重复性和可重复性。这种坚固、可靠、用途广泛的反应器是半导体和MEMS制造的理想选择。