二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9069114 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254，或AMAT 0010-03254反应堆，是一种主要用于制造半导体晶圆加工应用的工具。APPLIED MATERIALS 0010-03254反应堆是一种先进的设备，装有几个超高精密腔室的已安装部件，包括UP3000多晶硅沉积室、View 5000电子枪激发和批次真空炉9400。这一通用系统允许不同类型的工艺，从LPCVD和快速热处理技术，到用于层间介电的溅射沉积。UP3000多晶硅沉积室是一种大型加工容器，可配置用于多种类型的工艺。它有一个获得专利的双催化剂气体输送装置，可以精确控制沉积速率。View 5000 E-gun激发机是一种大功率、脉冲驱动的电子激发工具，用于提高沉积过程的效率。其最大功率为160kV，脉冲长度为1微秒。此外，它还配有磁性喷嘴，可以精确控制沉积过程。最后，Batch Vacuum Furnace 9400是一种多级工艺室，可执行快速热退火、氧化物去除等多种高温应用。最高温度为1300 °C，配备实时温度剖面，具有可调的时间和温度剖面。总体而言，0010-03254反应堆是高精度半导体晶圆加工业的有力工具。它提供了对沉积过程的高度精确的控制以及广泛的应用。凭借其各种集成组件，可以为各种半导体制造工艺提供无与伦比的性能和可靠性。