二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9208507 待售

ID: 9208507
MCA E-Chuck heaters.
AMAT/APPLICED MATERIALS 0010-03254是一种商用级、垂直分体式、气体反应堆式设备。该反应堆设计为适合于半导体加工、沉积和蚀刻作业的商用级设备。它是一种用途非常广泛的设备,可用于多种应用。该反应堆采用不锈钢分块组件,可容纳双晶圆加工和可变电源。它设计用于整个反应室的恒温和压力控制。它有一个垂直的反作用室,便于进入和维护。反应堆在沉积过程中能够在高达450°C的温度下运行,在蚀刻操作中能够在高达800°C的温度下运行。此外,压力可以从30调整到1000Torr。该反应堆还设有一个振荡器,用于将晶片向加热室的背面转移,以及一个单独的热控制单元,用于设计加热剖面。AMAT 0010-03254的另一个特点是集成过程自动化模块。该模块可用于控制压力、温度、流量等基本系统参数。该反应堆还包括一个集成气体输送装置,具有自动泄漏检测功能,确保高效和坚固的运行。该机还具有集成式可切换电源管理模块,以及带集成计时器的数字显示单元。APPLIED MATERIALS 0010-03254因其可靠的性能和较低的维护成本,是半导体加工的绝佳选择。反应堆具有加工多种材料的能力,使其用途广泛,适应多种应用。此外,产品用户友好,具有易于进入的反作用室和可调节的参数和特点。这种反应器是任何半导体工艺的绝佳选择.
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