二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9312941 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254 Reactor是一种用途广泛的薄膜沉积设备，设计用于涉及化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）的实验。反应堆室由不锈钢构成，带有石英基板支架和电阻加热器敏感器。它具有超低压对高真空处理的能力，操作最高可达1000˚C。AMAT 0010-03254反应器是一个可靠的沉积在多种类型的基板上的来源，具有精确的温度均匀性和工艺气体溷合系统。反应堆室独特的喷头设计和长度允许即使在高增长率和高真空条件下，均匀的膜沉积到基板上。反应堆有一个全面沉积区和一个中央升降机，门外有一个手动或电动升降机，用于基板样品装卸。机器的盖子可以打开到顶部淋浴头的全脸进行基板清洁或激光烧蚀。0010-03254反应堆通过精确的溷合和质量流量控制提供对过程气体的精确控制。双区域工艺允许在沉积薄膜的过程室温低至25˚C。基板中心的温度可以在25˚C到1000°C的范围内精确调节，精确的温度均匀度± 2°C。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254 Reactor允许自动补充原料和交换基材,从而消除了对生产工作流程的人工干预。一种先进的气体输送工具保持对工艺流体残余压力和流动的精确控制。该资产设计用于在乙炔、硅烷、氨和其他工艺气体上运行。独特的导流阀和主阀提供精确的流量控制.AMAT 0010-03254反应堆的先进特性为薄膜CVD、PVD、ALD、溅射沉积等广泛应用提供了精确的薄膜沉积。该设计可确保在大面积基板上均匀沉积薄膜，且交叉污染和基板损坏最小。此外，增加的沉积率通过减少周期时间和提高生产率来节省成本。