二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03840 #293591045 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03840 Reactor是一种精密等离子体蚀刻工具，旨在让製造商能够快速製造出精确度极高的半导体元件。反应堆的整体设计基于高度模块化的设计，以提供最大的灵活性。这样可以快速方便地访问设备中的各种组件以进行维护或更换。AMAT 0010-03840反应堆非常适合用于多种应用，例如生产先进的半导体器件。该系统的主要特点包括一个3英寸顶载热源，它在适合各种蚀刻过程的广阔区域内产生高密度高能等离子体。该装置还具有先进的温度均匀性控制，确保所有基材加工过程中晶圆温度均匀。此外，该机提供了全自动的过程控制技术，允许制造商自动控制气体流量、功率和基板温度的组合，以提高过程精度。模块化设计包含了一系列功能，有助于确保从第一个晶片到最后一个晶片的可靠蚀刻过程。这些特点包括惰性气体输送工具、自动晶体定向检测以及精确的垂直坐标资产。APPLICED MATERIALS 0010-03840 Reactor的设计可容纳直径最大6英寸的基板加工，并提供一个集成的基板支架，可以牢固地固定基板，用于控制气体输送和精确蚀刻几何形状。该模型提供双面脚踏板控制和大屏幕、直观的图形用户界面（GUI）,以实现快速、轻松的操作。为了确保保持准确和可重复的配方，设备采用了一个先进的软件系统，可以连续监控蚀刻过程。软件单元记录进程变量,允许每次重复所需结果。最后，0010-03840反应堆采用优质材料建造，确保在恶劣的工业环境下使用寿命长。通过利用这种精密等离子体蚀刻工具的特性，制造商可以制造出精度更高、产量更高的元件。