二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843 #9269049 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843是一种先进的沉积反应器，经过设计，提供高质量的材料沉积。广泛应用于先进半导体制造、先进包装、MEMS等领域。这座下一代反应堆是聚硅、钨、铝、碳等材料精密沉积的行业领先来源。AMAT 0010-03843由石英室、陶瓷腔、石英窗构成。石英室密封，是沉积过程的主要枢纽。陶瓷腔包含高能电子束枪和高温加热元件，为沉积过程创造最佳环境。石英窗是反应堆的好处，因为石英窗的存在减少了对复杂真空泵和线路的需求。高能电子束枪用于向反应堆腔室注入高密度粒子，从而能够结晶并产生特定材料的均匀涂层，如氮化钛或氮化全新。此外，电子束枪具有产生空间快门的能力，并具有少量的材料沉积点，允许在各种基板上放置中小型尺寸的特征。与仅使用电子束注入相比，加热区使选定材料的均匀涂层能够以更好的厚度控制沉积。此外,APPLIED MATERIALS 0010-03843还具有主动自我刷新系统的优点,该系统循环处理特定的沉积参数,以便通过均匀地增生材料来均匀分配材料。使用此自刷新功能,对于厚度均匀的一致涂层,可以将反应参数设置为静态模式。0010-03843还包括具有独立密封内室和外室的双室设计,为需要温度和压力变化的沉积提供了好处。通过将加热的腔室与基板隔离,操作员能够控制其工作,独立设置温度和压力,并节省工艺步骤之间的时间。总体而言，AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843是一种先进的沉积反应堆，具有高水平的性能和可靠性，具有广泛的优点。石英室、陶瓷腔、高能电子束枪和双室设计的结合，都允许金属和化合物在多种底物上可靠且可重现的沉积。