二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843R #9270795 待售

ID: 9270795
晶圆大小: 8"
DCxZ Ceramic heater, 8" Resistance: 4.3 ohm.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843R是一种用于半导体制造和沉积应用的反应堆。该反应堆旨在提供生产先进半导体器件所需的高质量蚀刻和沉积工艺。利用高功率真空和一系列气体喷射特性,精确控制蚀刻和沉积参数。AMAT 0010-03843R反应器由一个不锈钢真空室容器构成,可通过观察窗口看到。腔室配有许多密封剂、气体和泵接口。反应堆内部还装有两个平面盾牌,分别位于顶部和底部。这些屏蔽装置旨在防止任何溢出物和粒子源在过程中进入反应堆。应用材料0010-03843R反应堆由一系列外部高压电源供电。这些电源进入反应堆的腔室控制器,该控制器根据所需的工艺需求而改变两个平面屏蔽之间的电压。一组大功率隔离开关阀允许反应堆将废气和加工气体注入腔室。此外,反应堆还设计用于通过一系列排气和排气连接将任何废气和废气颗粒循环出室内。0010-03843R反应堆配备了一系列特性,使其能够以高精度和高效率运行。最值得注意的是,它具有动态端点检测设备,可以准确检测加工层中的部分或全部蚀刻。这个系统还允许反应堆检测室内残留粒子的存在。再者,它的控制单元实现了一组非线性反馈和前馈算法,使反应堆能够根据温度、压力、气体流量等参数优化其工艺性能。最后,AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843R是一种先进的高科技反应堆,设计用于从生产先进半导体器件到各种蚀刻和沉积工艺的应用。其强大的设计、精确的控制机器和动态端点检测工具使其能够以高效率和准确性提供高质量的结果。
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