二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-04450 #9043624 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-04450 Reactor是一种涡轮分子、高真空生长设备，专为半导体制造中的蚀刻和沉积过程而设计。该系统由不锈钢构成，采用了在真空或大气压下运行的强大的超高压涡轮分子泵。特高压泵由气体歧管补充，允许最多选择六种不同的气体。选定的气体，通常是氮气、氧气和氙气，用于所有沉积和蚀刻过程的气体供应和压力调节。该反应堆设计用于可达到的最高工艺窗口和温度均匀性，电炉的工作温度为10°至1202°C（50°至2196 °F）。温度由双区加热器、卤素炉和惰性气体消减装置组合维持。惰性气体消减机有助于消除真空室壁上的氧化，有助于维持非常低的基压水平。AMAT 0010-04450反应堆还采用了集成的颗粒收集和过滤工具，旨在保护工艺设备免受颗粒污染。该单元可以两种模式之一操作；带有排水阀或钟罩室。排水阀的运作方式是让气体通过过滤器，而钟形罐室则将颗粒收集在一个干燥的室中，在那里它们以后可以被提取出来。反应堆还包括其他几个有助于促进蚀刻和沉积过程的系统。其中包括具有可调电流的电源、供气歧管以及允许操作员在配方期间精确设置工艺参数的数字控制器。资产还包括端点检测和发射控制,这有助于优化流程性能。总体而言，APPLIED MATERIALS 0010-04450 Reactor是一种功能强大且可靠的工具，可用于进行高度精密和精确度的蚀刻和沉积过程。该模型能够经济高效地执行要求最苛刻的半导体制造工艺，并提供尽可能高质量的产品。