二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09001 #293658034 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09001是半导体工业非常先进的反应堆工具。反应堆利用化学气相沉积工艺将各种材料如硅沉积到具有精确控制的基板上。这项技术对于制造半导体器件，例如集成电路和其他电子元件至关重要。AMAT 0010-09001反应堆设备包括外壳单元和腔室组件。外壳单元包含系统的功能组件，如电源、控制器以及各种阀门和泵。腔室装配是实际生产过程发生的地方。腔室包含气源、温度控制系统和沉积源。化学气相沉积过程发生在腔内。气源将气体输送到腔室，然后以精确的比例溷合产生所需的反应。溷合后，气体被加热并搅拌，分解成较小的颗粒，可以沉积到基质上。许多沉积气体被加热到基板表面温度以上。这样可以更好地控制材料的沉积特性,例如结深.应用材料0010-09001反应堆机组使用两种主要的温度控制组件：气源加热器和蚀刻源加热器。气体源加热器在气体源送入室内之前对其进行加热。它还有助于准确控制气体溷合物。蚀刻源加热器在沉积前加热基板表面，以降低污染风险。机器还利用几个专门的过程来确保质量结果和精确的结果。例如，离子束辅助蚀刻工艺有助于提高沉积材料的质量，减少蚀刻损伤。等离子体沉积过程有助于减少过程中的颗粒缺陷。总体而言，0010-09001反应堆工具是半导体制造商以极高的可靠性和可重复性准确沉积所需材料的卓越工具。它提供了高精度和一致的结果，使其成为制造半导体器件的绝佳选择。