二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09010 #293658075 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09010是一个由圆柱形反应室组成的反应堆，通常长约5英尺，直径可达半英尺。这座反应堆设计用于通过顶部装载，还配有升降系统，便于装载。它可以容纳直径最大8英寸的晶片。该反应堆由包围反应室的物体组成，并保持在一定的压力、温度和气体水平范围内。该腔室是气密的，旨在防止其他工艺步骤的交叉污染。此外，反应堆还可以根据客户的需要定制各种配置。基板（或样品）通过顶部进料管引入反应堆，随后被提升到加工室底部，然后装载到提升平台上。然后使用旋转的左轮手枪式加热器加热和抽出过程气体，同时还控制温度和压力，由控制器维护。基板经过加工后，排出到真空歧管，在那里可以附着产品收集容器。反应堆的非真空部件由不锈钢构成，而真空兼容法兰和连接器则采用不同的材料。真空部件通常包括焊接的不锈钢主体和由陶瓷插件组成的铝制刀片，这种刀片能够更好地密封，并旨在减少污染。反应堆还有各种安全和监测措施到位，如压力传感器、氧气/可燃气体传感器和冷却水传感器。此外，在温度过高或压力过大的情况下，反应堆还提供可听和可见的警告。此外，反应堆提供了一个自动化系统，在紧急情况下将其关闭。总体而言,AMAT 0010-09010反应堆是一个可靠而坚固的系统,可以根据客户的要求进行定制,并提供完整的安全和监控功能包,以确保过程结果的安全性和质量。