二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09103 #293658078 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09103 Reactor是半导体工业中用于蚀刻和清洗晶片的自动化生产工具。该设备采用真空加工室建造，配有静电夹紧（ESC）系统，用于均匀的晶片放置和旋转。该反应器具有垂直共平面设计，确保基板以相对于电极的平行方向沉积，以获得更好的工艺均匀性。提供可靠的蚀刻和清洁解决方桉，具有高水平的晶片到晶片的可重复性，是生产工程的理想选择。它的自动化操作由一台具有高级用户界面的全功能计算机控制。它配备了精确的过程控制单元、数字视频机、实时曲率测量和冷却工具。还提供电离气体输送资产，提供稳定、均匀和精确的蚀刻工艺。其自动装卸能力也确保基板在整个过程中保持在同一位置。AMAT 0010-09103反应器能够进行多种工艺，包括去除氧化物、选择性蚀刻、薄膜沉积、各向异性蚀刻和深层硅蚀刻，并具有工艺控制和改进的透基均匀性。它设计用于扩大基材、基材尺寸和环境条件的范围，能够实施一系列的过程气体供应系统，以确保可靠的蚀刻。真空模型是为高真空水平和顶层工艺性能而设计的，具有优异的温度控制、石英温度监测和可调节的炉温。该设备配备了几个安全功能，包括紧急停止开关、互锁继电器和尘埃监视器。它还包括一个复杂的过程监控系统，调整功率级别，以及触摸屏图形用户界面。该反应堆提供出色的均匀性和吞吐量，是生产工程行业的理想选择。