二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #293602314 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416是一种多组分、多区过程反应器，主要用于半导体工业。设计用于薄膜的氧化、氮化和蚀刻等应用。反应器通常安装在环形支架上，用于薄膜堆栈处理的自动化。AMAT 0010-09416反应堆由工艺室和法兰两个主要部分组成。加工室是包含最多四个多区域加工区的外壳。每个区域使用标准2000瓦射频源加热，可以独立控制，设置为不同温度。法兰是一种专门设计的法兰，机械地将工艺室连接到真空系统。加工室最多分为四个多区加工区。每个区域由可调节的晶片表组件隔开，并有一个单独的高温灯或无绳灯高温源。可调基晶片表组件允许步进电机水平移动晶片，将其映射到不同的区域进行不同的处理。每个区域的温度都是独立控制的,并设置为温度从-50°C的极限到+1000°C的最高极限,总功率高达2000瓦。反应堆的真空系统包括一条与法兰相连的疏散管线。它由电子电动泵提供动力，提供500 mTorr的最大压力。排气线也与法兰相连，压力高达1托。APPLIED MATERIALS 0010-09416反应堆总重290磅，尺寸为43.5in （H） x 43.5in （W） x 21.5in （L）。它配备了安全关闭阀、数字流量监控器和带安全阀的排气口。它的设计考虑到安全，以确保反应堆的运行符合适用的安全条例。总之，0010-09416是半导体工业中为薄膜堆栈加工而设计的多组分、多区工艺反应器。它配备了一个安全关闭阀、数字流量监控器、排气口等，并且设计为符合适用的安全规定运行。因此，该反应器是高温工艺应用的有效工具，如氧化、氮化和薄膜蚀刻。