二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #293824898 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416是为制造先进半导体材料而设计的高性能反应堆。该反应堆可用于生产一系列有机和无机的半导体材料。它是一个生产型单晶片反应堆，能够在可控大气中以高达300 mbar的压力和室温至1500 °C的温度运行。反应堆由带真空密封出口的锥形石英管、可调样品加热器、陶瓷绝缘、不锈钢法兰、质量流量控制器、入口口和出口口组成。石英管通过使用红外灯加热。操作过程中，在加热的样品加热器上放置一个样品或"晶圆"，并暴露于反应堆电脑可以控制的温度和压力范围内。样品表面可以使用多种工艺修改和蚀刻，包括物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）。这座反应堆的其他能力包括氧气/氮气/氙气溷合气源，气体流速可调；基本压力为10-6 Torr的超高真空系统；一个温度斜坡系统，能够快速加热基板至1500 °C；以及超高温退火室。此外，反应堆的工艺参数可以针对特定的晶圆要求进行调整。AMAT 0010-09416反应堆可用于合成多种化合物，包括半导体材料，如砷化氙、碳化硅和氮化氙。该反应堆效率高，可用于实现产品的高产率。它也非常通用，因为它的参数可以定制以满足特定的要求。它具有很高的易用性，是制造先进半导体材料的理想反应堆。