二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #9111980 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416是一种晶圆双室反应器，为设备制造和研究中使用的先进工艺提供无与伦比的控制和灵活性。该室具有温度控制严密、气源优质、长期运行可靠的清洁环境。它旨在处理需要高级性能和处理的生产过程或研究任务。AMAT 0010-09416具有单个不锈钢阴极腔和石英上腔，可用于阳极氧化、清洁、解吸、大量氧化物生长和沉积。阴极腔具有三个感应耦合射频（RF）源和一个电子回旋共振（ECR）源。ECR源能够利用电磁场产生均匀的等离子体来加热和电离材料。三个射频源独立工作，提供不同级别的射频功率，从而实现精确和定制的沉积剖面。射频源也可以用来创造超快速的等离子体处理条件，这一特征是由腔室对射频功率的上限所实现的。该室具有高达1200℃的高温能力和低至-50°C的低温能力。该范围由加热纤维和腔内冷却通道的组合维持。腔室的超低热质量也有助于温度调节的精确度。腔室还包括针对超高真空进行优化的先进真空系统，具有5巴压力范围。为了进一步优化加工性能,APPLIED MATERIALS 0010-09416提供了许多复杂的气体输送选项。具体来说，反应堆配备了两个质量流量控制器（MFCs）、五个气线和一个气线监测系统。MFC允许可调气体通量,并使用户能够利用动态前体输送等功能。这五条气体管线设计用于处理各种气体种类和溷合物组合。气线监测仪可用于测量腔室内的气体剖面，允许用户考虑与温度有关的生产率。0010-09416是要求最高级别流程性能和控制的应用程序的理想解决方桉。其全面的特性、灵活性和能力使其适合在任何工艺开发或生产环境中使用。