二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416W #9148699 待售

AMAT（应用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416W是专门为快速热处理（RTP）应用而设计的锥形石英反应器。它非常适合半导体加工，因为它能够快速加热和冷却晶圆样品。反应堆由一个石英室组成，两个相对的金字塔向内向中心逐渐变细。它还包含两个法兰，一个在顶部，一个在底部，允许连接真空设备。石英室经过精密加工，确保气密，能承受高达1000 °C的温度。选择石英材料是因为它具有很高的耐热冲击能力，以便于快速加热和冷却循环。腔室的内壁也涂有反射材料，确保可以均匀加热放置在里面的基板。反应堆的壁也被设计为允许独立的加热、冷却和大气压力控制。反应堆的顶部法兰有两个密封的、可联锁的石英盖。这些瓶盖提供了一个安全的密封，以帮助在处理过程中将惰性气体或反应溷合物包含在反应堆内。底部法兰包含两个额外的dumet-密封石英盖，可用于将反应堆连接到外部真空系统。这使得室内的真空压力能够在最佳加工条件下得到精确控制。整个反应堆设计是为可重复、可靠的运行而设计的。它有一个高效率的加热单元，确保整个腔室能快速达到RTP应用所需的温度。这有助于加快处理时间,同时仍能获得高质量的结果。此外，它还有一个先进的冷却机，这有助于防止热失控，并确保样品处理均匀和快速冷却。AMAT 0010-09416W锥形石英反应堆是一种强大可靠的工具，能够快速有效的快速热处理。它是任何实验室或工业过程的完美工具，因为它确保在一系列RTP应用中的准确性和可重复性。