二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #119691 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是一种多功能、高性能的物理气相沉积（PVD）反应器,专为先进的低温过程而设计。AMAT 0010-09750是一种单晶圆HiPIMS（高功率脉冲磁控管溅射）工具，具有灵活的平台，非常适合多层沉积序列。该设备利用专有的群集源几何形状和实时0-15KW功率控制来实现高速率和均匀层厚度（UTL）。该系统采用多面磁控管集群源,最多有五个独立的工艺区,可实现单目标沉积和双目标电子束熔化等不同操作。这允许了多种不同的等离子体溅射技术，使其适用于先进的电介质和超高性能涂层等广泛的应用。13英寸顶装室一次运行最多可容纳6个6英寸晶圆，与太阳能、MEMS、LED产品兼容。APPLIED MATERIALS 0010-09750的先进温度控制单元允许精确调节基板温度和工艺参数。两种不同的泵（涡轮泵和双级干泵）用于工艺室疏散和高效的底压控制。该机在-90°C至+150°C的温度下运行，以允许各种工艺循环时间，采用多区加热器配置来精确管理基板温度。该工具具有用于创建、执行和修改配方操作的集成读/写功能。专门的食谱可以很容易地存储和检索,从而提供最大的灵活性。用户界面主机赋予操作员对资产的完全控制权，便于监控和调整流程参数。主动现场腐蚀分析软件是提供快速即时分析的模型的一部分。对于需要快速沉积速率、精密控制工艺参数和多层沉积序列的客户来说，该设备是一个极好的选择。