二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #293618116 待售

ID: 293618116
RF Match for P5000 Process: CVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是一种单晶片,经过热处理的化学气相沉积反应器。AMAT 0010-09750是一种用于将薄膜沉积到半导体晶片和基板上的工具。该设备的反应室呈圆柱形,它允许膜均匀沉积在基板上。该过程在200-400摄氏度的高温氢气气氛中进行。APPLIED MATERIALS 0010-09750的反应室设有气体和过程控制单元。这些装置提供了精确控制的环境,允许所有反应物气体的准确流动和分布。这提高了反应速度,导致了更高的收率和改善的产品质量。该系统还采用了两级加热工艺,确保基板和反应物气体的均匀加热,从而在基板上形成均质膜。膜的生长速度和表面光滑度可以用位于反应室出口的节流阀调节。膜的反射率也可以用位于反应室的快门精确控制。快门有助于生产具有广泛折射率的高质量薄膜。0010-09750配备计算机集成监控单元。该机精确记录反应室中的沉积速率、温度和压力,并允许更好的过程控制。该工具还包括硬件联锁和蒸汽注入控制,以增加安全性和提高生产效率。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750反应器被用于许多应用,包括氧化硅和氮化硅记忆芯片的沉积,LED芯片的钝化层,晶体管互连的氮化物和氧化物薄膜。该资产是生产优质薄膜材料的有效、可靠和可靠的工具。
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