二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #293626250 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750
ID: 293626250
RF Match.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是专门设计用于在基板表面生长薄膜的反应器。它由三个主要部件组成----一个加工室、一个电源和一个装载臂----并用于各种过程,包括化学气相沉积(CVD)和等离子体增强型CVD(PECVD)。该工艺室由一个充满空气的空间(通常称为真空室)组成,其中基板和薄膜材料被加热到所需温度。电源,通常被称为炉子,连接到工艺室并提供增长所需的能量。通常通过加工室延伸的装载臂允许将基材放入该室。AMAT 0010-09750具有先进的过程控制设备,可帮助监控和优化沉积过程。它还具有向基板供应反应物气体和前体的车载气体输送系统、加热排气口、真空装置、各种专用工艺工具以及独特的数据采集机器。它还具有高级控制工具,可帮助管理沉积过程,并允许更快地优化过程。APPLIED MATERIALS 0010-09750还具有多项安全功能,包括自动关闭、防止污染和互锁,以防止与热组件接触。它还拥有一个自动化的数据收集资产,记录处理数据以便于审查和分析。0010-09750旨在处理广泛的基材尺寸、薄膜厚度和工艺温度。通常用于硅、钛或氮化铝等材料的高温退火和沉积。它旨在提供高吞吐量和卓越的过程控制。总体而言,AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是一种高度先进和可靠的反应堆,能够在基板表面生长薄膜。其先进的过程控制模型确保了最佳的过程质量,而其各种专门的模具和安全特性提供了卓越的过程稳定性和效率。它非常适合那些需要以快速可靠的方式在其基板上生长薄膜的人。
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