二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9005022 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750反应堆是一种用途广泛、可靠的先进制造工具，专为化学气相沉积（CVD）和物理气相沉积（PVD）等气相沉积过程而设计。该反应堆结合温度、压力和时间控制，达到前体、掺杂剂源和催化转化等工艺所需的特定条件。它最多可容纳六个卡带/船装载站，以容纳基材、crucibles、源或其他工艺部件。反应堆采用一个腔室炉，该炉能够加热至25°C至1000°C的温度范围，并能够在腔室内实现温度均匀性和稳定性。ABB U型射频线圈感应、可听气体流量计、多路质量流控制器与腔室炉集成，提供最高温度稳定性。该反应堆便于使用惰性气体和净化设备控制室内的大气。ABB UV-SiC模块集成在一起,可提供额外级别的过程控制和温度均匀性。AMAT 0010-09750反应堆采用高性能高真空系统，能够实现降为7x10-7 Torr的真空。它还包含一个高精度的基板提升器，使精细定位精度和晶圆能力。而且反应堆还可以与液体、蒸气、气体等不同的工艺介质相连接。这是通过将CSA批准的*手套箱插件、球形法兰和化学进料通过集成而实现的,这使得能够在反应堆中正确添加和移除不同的工艺介质。反应堆还有一个PLC可编程控制单元，提供过程一致性和记录保存能力。其用户友好的界面设计使用户能够轻松操作和控制反应堆。此外，通过将真空塔和气体歧管机集成在一起，为反应堆的维护提供了便利，这为有效运行提供了保持适当真空水平的效率。总之，APPLIED MATERIALS 0010-09750 Reactor是一种多合一反应堆，具有最先进的技术、优化的控制系统、先进的工艺能力，是先进制造工艺的理想有力工具。