二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9358019 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是一种工艺反应器，非常适合化学气相沉积（CVD）和快速热处理（RTP）应用。它是一个由不锈钢製成的大型长方形容器，装有惰性气体，并装有数个由o-ring密封密封的端口。使用轴向安装的手动旋转密封组件来打开和关闭端口，同时使用对流烤箱来维持腔室温度。该容器由304 SS构成，设计直径8英寸（20厘米），高度6.5英寸（17厘米），容积1000立方英寸（16升）。容器的压力额定为40 psig（2.75 barg）。一个内部可旋转的植入物支架轴向安装在腔室中央，可以支撑直径达4英寸的六（6）个晶片。腔室最多可装有三（3）个工艺气体入口和两（2）个排气装置，以实现快速、动态的工艺循环。使用上面提到的对流烤箱加热腔室。这个烤箱由304 SS构成，温度范围为20°F-950 °F （7°C-510 °C）。烤箱由PID温度控制，均匀度± 5°F（± 2°C）。加热速率可编程至650 °F/min （354 °C/min）。腔室还配备了变速风扇，使腔室内的对流气流得以实现。AMAT 0010-09750是为各种CVD和RTP应用而设计的。其轴向安装的手动旋转密封组件、大容量、对流加热，是现有效率最高的反应堆之一。其快速循环处理气体的能力，加上其均匀的加热，使其成为高通量和一致结果的理想之选。它能够在低温下实现高沉积速率，从而减少循环时间。该反应堆非常适合任何寻找可靠、高效的CVD或RTP系统的实验室。