二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9358019 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是一种工艺反应器,非常适合化学气相沉积(CVD)和快速热处理(RTP)应用。它是一个由不锈钢製成的大型长方形容器,装有惰性气体,并装有数个由o-ring密封密封的端口。使用轴向安装的手动旋转密封组件来打开和关闭端口,同时使用对流烤箱来维持腔室温度。该容器由304 SS构成,设计直径8英寸(20厘米),高度6.5英寸(17厘米),容积1000立方英寸(16升)。容器的压力额定为40 psig(2.75 barg)。一个内部可旋转的植入物支架轴向安装在腔室中央,可以支撑直径达4英寸的六(6)个晶片。腔室最多可装有三(3)个工艺气体入口和两(2)个排气装置,以实现快速、动态的工艺循环。使用上面提到的对流烤箱加热腔室。这个烤箱由304 SS构成,温度范围为20°F-950 °F (7°C-510 °C)。烤箱由PID温度控制,均匀度± 5°F(± 2°C)。加热速率可编程至650 °F/min (354 °C/min)。腔室还配备了变速风扇,使腔室内的对流气流得以实现。AMAT 0010-09750是为各种CVD和RTP应用而设计的。其轴向安装的手动旋转密封组件、大容量、对流加热,是现有效率最高的反应堆之一。其快速循环处理气体的能力,加上其均匀的加热,使其成为高通量和一致结果的理想之选。它能够在低温下实现高沉积速率,从而减少循环时间。该反应堆非常适合任何寻找可靠、高效的CVD或RTP系统的实验室。
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