二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9410316 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是一种集成的等离子体蚀刻/清洁反应器,旨在实现对等离子体蚀刻过程至关重要的最佳电子连接水平和气体流速。该系统用于清洁和蚀刻半导体制造中的基板。AMAT 0010-09750是一种多合一反应堆，旨在提供集成电源、真空控制和温度控制，允许稳定、高精度的蚀刻过程。它利用感应线圈，通过维持原位电子的附着，创造并维持一个一致的、高水平的等离子体。另外，感应线圈的射频功率是可调的，形成容器的气流可以用质量流控制器调节/测量。0010-09750的尺寸为宽28英寸、深49英寸、高79英寸。反应堆主要由不锈钢构成，并设有一个平顶通风室和两个半圆形室。这允许等离子体和蚀刻速率的有效熄灭。反应堆的真空环境是由机械和涡轮分子泵组合而成，腔室维持在高真空状态，使得底物的等离子体处理得以优化。APPLIED MATERIALS 0010-09750的内室涂有耐蚀刻工艺的材料，工作是减少产品等沿反应堆壁粘附。另外，将地板倾斜以最大限度地利用腔室空间。最后,允许温度控制是一种高瓦数的定制水冷系统.这极大地降低了蚀刻过程中产生的热量，使得0010-09750能够在广泛的基材材料上有效地进行蚀刻过程。综上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750是半导体行业用于等离子体蚀刻/清洗的理想工具。它结合了感应电源和真空控制以及不锈钢结构和定制冷却系统，确保了等离子体处理的安全性和有效性。