二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750W #9186163 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750W是专门为支持精确的工艺温度和广泛的工艺气体流动而设计的反应堆。它有能力以安全可靠的方式处理批次，同时满足高产生产和低运行成本的严格要求。反应堆的设计针对沉积、蚀刻和退火等多种过程进行了优化。反应堆处理面积大，温度范围高达1100 °C，能够支撑氮气、氙气、氢气、氧气等气体。该腔室由不锈钢制成，带有石英视口，便于查看，设计方便、准确地取用保样晶片。会议厅还设有交互式用户界面，便于快速、方便的过程控制和监控。反应堆的设计由于其先进的热控设备而允许快速处理循环。该系统提供精确的过程温度,具有快速的温度上升和下降速率,使用户可以更好地控制沉积和蚀刻速率。再者，这个单元允许使用多个工艺配方，配方可以在不干扰生产流程的情况下即时快速改变。这座反应堆装有自动晶圆处理机，简化了样品处理和准备、装载和卸载。机械臂配备了强大的电子传感器，可以在整个过程周期中准确跟踪晶片。此外,该反应堆还具有自动配方管理工具,该工具存储用户定义的配方,并在任何生产运行过程中管理多个步骤的配方。该反应堆结合了各种特性和技术，可实现精确的过程控制、快速的循环时间、低的拥有成本和运行中的可靠性。随着工艺控制的改进和产量的提高，AMAT 0010-09750W非常适合要求最高质量标准和经济效率的蚀刻和沉积应用。