二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-12516 #293640084 待售

ID: 293640084
晶圆大小: 8"
优质的: 2011
MCA E Chuck, 8" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516是一种用于半导体工业的反应堆。用于通过沉积或蚀刻不同类型的薄膜来加工晶片。反应堆能够处理300毫米晶圆,速度极快,效率极高。该反应器由石英室、晶片板和气体控制设备三个主要部分组成。石英室的设计是为了在内部营造非常精确的气氛,使蚀刻或沉积过程能够非常精确的控制。腔室由三个石英圆柱体组成,这些圆柱体融合在一起形成坚固的密封。室内有加热元件和冷却元件,可以精确控制环境。晶片板是反应器的组件,在加工过程中将晶片固定在腔室中。它由特殊材料制成,设计为耐热、不导电。该板还设计为低维护和低成本,以减少客户不必要的成本。气体控制系统是反应堆的另一个重要组成部分。它负责为蚀刻和沉积过程提供必要的反应性气体,以及控制室内的压力和流动。该单元由多个阀门、管道和气源组成,可以精确控制气体。总体而言,AMAT 0010-12516反应堆是处理各种尺寸晶片的可靠有效的方法。其精确的气体控制机确保了室内的环境能够被精确的调节。其低维护设计和耐用材料使其非常适合许多应用,包括薄膜沉积和蚀刻。
还没有评论