二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-12516 #293651608 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516是为多种应用而设计的超高真空化学气相沉积（CVD）反应器。适用于大多数半导体和先进材料薄膜沉积工艺，包括纳米材料。该设备改进了腔室设计，使沉积过程更均匀，工艺速度更快，基板温度分布更好。它还包括一个独特的机械夹紧机构，保持底座和盖件之间的持久接触，允许最大气流，以更好的设备性能。反应堆还配备了一个C-DSF泵系统和两个65升/秒离子泵，以及一个100升/秒的涡轮分子泵来提供所需的快速减压和稳定。该单元设计有大量的工艺参数，每个参数都是可编程的，使其具有高度的可调整性和灵活性，使用户能够根据特定需求量身定制输出。它配备了自动清洗功能，可以在运行之间自动清洗反应堆，其最先进的高精度计量可以提供准确的结果。在安全防护方面，AMAT 0010-12516的设计采用了严格的安全标准。它配有一台互锁机器，可防止在操作过程中进入工艺区域，还配有一个诊断工具，可实时监控安全性和性能状态。此外，该资产还配备了集成压力和温度传感器，以及模型功率监测器，可用于检测潜在问题。总体而言，APPLIED MATERIALS 0010-12516是一种先进、高度可靠和高效的超高真空化学气相沉积（CVD）反应器，适合各种薄膜沉积要求，具有广泛的工艺参数和安全特性，可提高用户的安全性和性能。