二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-12516 #293656972 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516是为薄膜沉积而设计的反应器。这是一个单晶片prober安装与工艺室和可伸缩机器人臂模块。它有一个上下截面，允许垂直的过程传输。上部包括一个内置用于晶圆支撑的提升销的石英工艺室、气流控制、HEPA过滤、原位清洗组件和供气阀。下部包括一个可伸缩机器人臂模块，该模块在沉积过程中支持工艺晶片。该工艺室有一个大的，256mm窗口，由高氧化铝石英构成。此窗口允许在处理过程中对样品进行目视检查。该工艺室还提供一个可调节的速度滚筒驱动器，支持高和低粒子的应用。此外，该腔室还包含一个晶圆提升销和加热器组件，用于精确的晶圆处理和可重复的热处理。机器人臂支持晶片从工艺室到样品模块和背面。机器人臂的上部装有为AMAT 0010-12516反应堆定制设计的采样组件。该组件有助于晶圆样品的精确定位和旋转。该组件配有一个用于热控制的集成加热器。APPLIED MATERIALS 0010-12516是一种高度通用的反应堆，可用于CVD、PECVD、RIE、ALD、APCVD、MOCVD等多种应用。它具有强大的设计和性能特点,是过程优化和显着质量改进的绝佳选择。此外，0010-12516能够处理从低温材料沉积到高温超导体的各种过程。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516以其自动化的样品传输过程、集成的样品支架、温度控制和可调节的加热器配置提供了极大的通用性。由于其直观的图形用户界面，它也很容易使用。此外,它还通过多种气体入口、气体净化和废气提供了额外的灵活性。AMAT 0010-12516可用于CVD、ALD等薄膜沉积工艺时取得优异效果。