二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-13321W #293658052 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-13321W是一种超紧凑工艺反应器，设计用于氧化物原子层沉积、氮化物原子层沉积和其他薄膜沉积工艺等应用。这种反应堆能够将各层纤薄、超高纯度和均匀的材料沉积到基板上。AMAT 0010-13321W由高级不锈钢制成，耐腐蚀，易于清洁。它的腔室设计为在整个过程中提供均匀的温度和均匀的气体输送。为了最大限度地提高沉积效率，可以将工艺温度控制在0.1°C的精度。反应堆可以由外部控制器操作,允许灵活操作.该反应堆的磁控管源使其成为沉积氧化物和氮化物层的理想选择。磁控管源确保材料涂层在基板上的均匀沉积。它还有一个石英船，最多可容纳1.6克材料，确保材料均匀分布在基板上。该系统的设计便于维护,石英船、磁控管源和上部电极等可更换部件均可通过维护门进行日常维护和故障排除。反应室配有可调气体供应，允许引入前体气体进行沉积。这个气体入口还配备了气体洗涤器过滤器，可以从反应室中过滤出多余的污染物。该室还有一个反侧真空装置，它捕获反应副产物，防止它们重新进入反应堆，并影响沉积过程。总体而言,APPLIED MATERIALS 0010-13321W是一种高性能、超紧凑的工艺反应器,专为超薄、超高纯度和高度均匀的材料层的沉积而设计。它耐用的结构和高精度的控制使得它非常适合各种应用，提供可靠和一致的结果。