二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-13833 #9277934 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-13833是一种高端气相外延（VPE）反应器，设计用于生产高产量、优质、大批量的均质层状材料如氮化氙、硅、氙等半导体材料。该设备利用基于水平低环状转盘的工艺在石英或不锈钢反应堆室内生长。转盘设计提供了一种倒置的crucible构型，在这种构型中，基板被加热并以一定角度放置在水平放置在腔室内的旋转台上。然后在转盘的中央放置坩埚，基板暴露在反应堆腔内的各种前体和生长材料中。在外延过程中，旋转转盘确保半导体材料在整个晶片上的均匀沉积，在基板上形成均匀、均匀的材料层。AMAT 0010-13833除了倒置的crucible转盘外，还具有多种其他特点，用于精准、高效、高产的生长过程。该系统设计有一个双集成气体分配单元，能够从独立的净化管线输送多达60种气体，以实现所需的沉积成分。该机还设有先进的工艺控制工具，利用闭环反馈资产监测腔室压力、温度和气体成分，允许用户精确控制沉积速率、层厚和均匀性。APPLIED MATERIALS 0010-13833为半导体材料的生产提供了可靠、经济实惠的平台。该模型是为高产和高质量增长以及长期持续可靠运行而设计的。该设备能够生产高达300毫米（12英寸）的纳米级晶片，其组件层薄至5纳米。高度可靠和高效的0010-13833为生产当今不断增长和变化的电子和技术市场所需的半导体材料提供了一个绝佳的平台。