二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-13879 #293640053 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-13879是一种用于半导体制造先进蚀刻沉积工艺的反应器。它是一种平行板反应堆，一种经常用于生产存储器芯片和其他半导体器件的反应堆。作为一种平行板反应器，AMAT 0010-13879使用两个平行电极，可以高度控制沉积和蚀刻过程。间隔一定距离的两块板可以分开控制。这类反应堆的工作原理是在板之间通过带电粒子束，然后将束分解成离子等离子体。这允许材料在上板沉积，以下板为基板，同时蚀刻下板上的材料。这使操作员能够精确控制被沉积或蚀刻材料的形状、大小和组成。APPLIED MATERIALS 0010-13879设计用于熔点较低且易蚀刻的材料，如硅、砷化氙等。反应堆的电子束被设计成具有较大的能量扩散，允许精确的蚀刻和沉积过程，以及在过程的控制中增加均匀性。另外，为了减少等离子体在板之间通过所造成的伤害，对下板进行冷却。这种冷却系统允许平行板反应堆的最高效率运行，使操作员能够利用高功率水平，而不必担心系统过热或过载。总体而言，0010-13879是一种先进的平行板反应堆，设计用于半导体生产。它对沉积和蚀刻过程的精确控制，加上其冷却系统，使其成为创建内存芯片和其他先进半导体器件的理想选择。
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